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GB/T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法
标准编号：GB/T 25497-2010
标准名称：吸气剂气体吸放性能测试方法
英文名称：Test methods for gas absorbency and release of getters
发布日期：2010-12-01
实施日期：2011-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
薛函迎、张巨先、郭卫斌、刘筠
起草单位
南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所
标准范围
本标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放 气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。