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GB/T 25495-2010 吸气剂金属释放特性测试方法
标准编号：GB/T 25495-2010
标准名称：吸气剂金属释放特性测试方法
英文名称：Test methods for metal releasing characteristics of getters
发布日期：2010-12-01
实施日期：2011-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠
起草单位
南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团公司第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所
标准范围
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法，如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。 本标准适用于真空器什用吸气剂。