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GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
标准编号：GB/T 25755-2010
标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
英文名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
发布日期：2010-12-23
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
执行单位：全国真空技术标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
起草人
邹蒙、张勤德、李春影、朱国精、马殿理
起草单位
北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
标准范围
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L／s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5X10-3Pa到1X10-7Pa。 注:本标准保证了离于泵性能参数的澜量在相同的条件下按相同的方法进行．由此做到由各制造厂家或务实验室所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的。