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GB/T 26069-2010 硅退火片规范
标准编号：GB/T 26069-2010
标准名称：硅退火片规范
英文名称：Specification for silicon annealed wafers
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
楼春兰、孙燕、王飞尧、黄笑容、朱兴萍、宫龙飞、方强
起草单位
万向硅峰电子股份有限公司、宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份公司
标准范围
本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于线宽l80nm、130nm和90nm：工艺退火硅片。