GB/T 26067-2010 硅片切口尺寸测试方法

标准编号：GB/T 26067-2010

标准名称：硅片切口尺寸测试方法

英文名称：Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

杜娟、孙燕、卢延廷、楼春兰

起草单位

有研半导体材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司

标准范围

1.1 本标准定性的提供了判定硅片基准切口是否满足标准限度要求的非破坏性测试方法。本方法的 测试原理同样适用于其他切口尺寸的测量。 1．2 本标准中物体平面尺寸为O．1 mm时，通过20倍的放大后会在投影屏上形成2．O mm的影像，通过50倍放大后会产生5．O mm的投影。本方法可以发现切口轮廓卜的最小尺寸细节。 1．3 本标准不提供切口顶端的曲率半径的测试。

标准文档截图