GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则

国家标准

标准编号:GB/T 26112-2010

标准名称:微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则

英文名称:Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

发布日期:2011-01-10

实施日期:2011-10-01

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹

起草单位

天津大学、西安交通大学、太原理工大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、中原工学院

标准范围

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、枪测机构从事微机电挂术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

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