GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢

标准编号：GB/T 26249-2010

标准名称：电子工业用气体 硒化氢

英文名称：Gases for electronic industry - Hydrogen selenide

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-05-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩

起草单位

中国计量科学研究院、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院、河北保定市北方特种气体有限公司

标准范围

本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。 分子式：H2Se。 相对分子质量：8o．975 88(按2007年国际相对原子质量计算)。

标准文档截图