立即下载标准文件- GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行
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GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
标准编号：GB/T 25915.6-2010
标准名称：洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
归口单位：中国标准化协会
执行单位：中国标准化协会
主管部门：国家市场监督管理总局
起草人
王尧、陈刚、乐细明、缪德骅、涂有
起草单位
苏州市洁净室科技促进中心、深圳市标准化研究院等、中国电子学会洁净技术分会
标准范围
GB／T 25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分 出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB／T 25916.1和GB／T 25916.2中的术语和定义。