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GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
标准编号：GB/T 17874-2010
标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文名称：Gases for electronic industry - Boron trichloride
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
起草单位
西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司
标准范围
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 分子式：BCl3相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。