GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则

国家标准
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标准编号:GB/T 26533-2011

标准名称:俄歇电子能谱分析方法通则

英文名称:General rules for Auger electron spectroscopic analysis

发布日期:2011-05-12

实施日期:2011-12-01

归口单位:全国微束分析标准化技术委员会

执行单位:全国微束分析标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

姚文清、李展平、曹立礼、朱永法

起草单位

清华大学

标准范围

本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪。

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