GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

国家标准

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标准编号：GB/T 11164-2011

标准名称：真空镀膜设备通用技术条件

英文名称：Vacuum coating plant generic specification

发布日期：2011-11-21

实施日期：2012-03-01

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

执行单位：全国真空技术标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

陈月增、谢钧荣、温发兰、范立群、孙凯

北京北仪创新真空技术有限责任公司、兰州真空设备有限责任公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等、上海曙光机械制造厂有限公司、成都南光机器有限公司

本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在100000/1 Pa～1000/1 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设备)。