GB/T 28159-2011 电子级磷酸

国家标准

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标准编号：GB/T 28159-2011

标准名称：电子级磷酸

英文名称：Electronic grade phosphoric acid

发布日期：2011-12-30

实施日期：2012-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

李全东、肖遥、何珂、李少平、王文武、戈士勇

四川成洪磷化工有限责任公司、湖北兴发化工集团股份有限公司、苏州晶瑞化学有限公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、苏州电子材料厂有限公司

本标准规定了电子级磷酸的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于电子工业用磷酸。本标准不涉及使用安全性问题,本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。