GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

国家标准
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标准编号:GB/T 28276-2012

标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

发布日期:2012-05-11

实施日期:2012-12-01

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

崔波、罗蓉、熊斌、陈海蓉、刘伟、张大成

起草单位

中国电子科技集团第十三研究所、北京大学、中机生产力促进中心、中国科学院上海微系统与信息技术研究所

标准范围

本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

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