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GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
标准编号：GB/T 15862-2012
标准名称：离子注入机通用规范
英文名称：General specification of ion implantation equipment
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草人
郭健辉、彭立波、罗宏洋
起草单位
中国电子科技集团公司第四十八研究所
标准范围
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。