GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

标准编号：GB/T 15861-2012

标准名称：离子束蚀刻机通用规范

发布日期：2012-11-05

实施日期：2013-02-15

归口单位：工业和信息化部（电子）

执行单位：工业和信息化部（电子）

主管部门：工业和信息化部（电子）

起草人

陈特超、周大良

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

标准范围

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

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