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GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶
标准编号：GB/T 29504-2013
标准名称：300mm 硅单晶
英文名称：300mm monocrystalline silicon
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
闫志瑞、孙燕、楼春兰、卢立延、张果虎
起草单位
有研半导体材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、宁波立立电子股份有限公司
标准范围
本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。