GB/T 18907-2013 微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法

标准编号：GB/T 18907-2013

标准名称：微束分析 分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法

英文名称：Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Selected-area electron diffraction analysis using a transmission electron microscope

发布日期：2013-07-19

实施日期：2014-03-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

柳得橹、娄艳芝、柏明卓

起草单位

北京科技大学、宝钢集团中央研究院、北京航空材料研究院

标准范围

本标准规定了用透射电子显微镜(TEM)对薄晶体试样的微米和亚微米尺寸区域进行选区电子衍射分析的方法。被测试样可以从各种金属或非金属材料的薄切片获得,也可以采用细微的粉末或萃取复型试样。应用本方法可分析的最小试样选区直径取决于显微镜物镜的球差系数,对于现代TEM,试样的最小选区直径一般可达到0.5 μm。当被分析试样区的直径小于0.5 μm时仍然可以参照本标准的分析方法,但是由于球差的影响,衍射谱上的部分信息有可能来源于由选区光阑限定的区域之外,在这种情况下,如条件允许,最好采用微(纳)衍射或者会聚束电子衍射方法。选区电子衍射方法的成功应用取决于对所获得的衍射谱指数标定正确与否,而不论试样的哪个晶带轴平行于入射电子束,因而,这样的分析往往需要借助试样的倾转和旋转装置。本标准适用于从晶体试样上获取SAED谱、标定衍射谱的指数以及校准电镜的衍射常数。

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