GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性

标准编号：GB/T 29558-2013

标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性

英文名称：Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy - Repeatability and constancy of intensity scale

发布日期：2013-07-19

实施日期：2014-03-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

丁泽军、张增明、李永刚、梅红萍、曾荣光、毛世峰

起草单位

中国科学技术大学

标准范围

针对于常规分析使用的电子枪能量至少为2keV 的俄歇电子能谱仪,本标准规定了一种评估其强度标的重复性和恒定性的方法。它仅适用于配备了溅射清洁用离子枪的仪器。本标准并非旨在成为一种强度/能量响应函数的校准,这种校准可由仪器厂商或者其他机构制定。本方法提供数据以评估和确认仪器使用中强度/能量响应函数保持恒定的精度,对可影响这种恒定性的一些仪器设置给出了指导。

标准文档截图