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GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
标准编号：GB/T 29658-2013
标准名称：电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
英文名称：High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
发布日期：2013-09-06
实施日期：2014-05-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
执行单位：全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草人
万小勇、罗俊锋、杨华、朱晓光、廖赞、尚再艳、孙秀霖
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、新疆众和股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
标准范围
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。