GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准

标准编号：GB/T 29731-2013

标准名称：表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准

英文名称：Surface chemical analysis - High resolution auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis

发布日期：2013-09-18

实施日期：2014-06-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

姚文清、王水菊、李展平、朱永法、张占男、牟豪杰

起草单位

清华大学、厦门大学

标准范围

本标准规定了用于表面元素和化学态分析的俄歇电子能谱的动能标校准方法。并且还规定了校准日程安排,用于在中间某一能量值测试动能标线性、在高低动能区各取一点确认标尺校准的不确定度、校正标尺小漂移以及规定在95%置信度时该动能标校准的扩展不确定度(这个不确定度包括实验室之间研究中观察到的各种现象,但不涵盖所有可能的缺陷)。 本标准仅适用于配备溅射清洁离子枪的仪器。不适用于以下情况的仪器:动能标尺的误差随能量明显非线性变化;工作于谱仪的相对分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 为1.5eV 模式时,要求容差极限为±0.05eV 或更小。也不适用于电子枪不能在5keV~10keV 能量范围操作的仪器。 本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能设定的点加以验证,且应按仪器制造商的推荐程序进行。

标准文档截图