GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

标准编号：GB/T 29845-2013

标准名称：半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

英文名称：Guide for final assembly, packaging,transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment

发布日期：2013-11-12

实施日期：2014-04-15

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

黄英华、刘军、周历群、冯亚彬、吴良军、钟华

起草单位

工业和信息化部电子工业标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司

标准范围

本标准给出了半导体制造设备（SME）在供应商工厂的最终装配（总装）、包装、运输以及在客户洁净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配（总装）、包装和运输以及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。 u3000u3000 u3000u3000本标准不包含与环境、健康和安全（EHS）相关的特殊要求，也不适用于与晶片粒子或晶片质量（如离子污染度）相关的加工过程规范。

标准文档截图