GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

国家标准
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标准编号:GB/T 11446.7-2013

标准名称:电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

英文名称:Test method for trace anion in electronic grade water by ion chromatography

发布日期:2013-12-31

实施日期:2014-08-15

归口单位:工业和信息化部(电子)

执行单位:工业和信息化部(电子)

主管部门:工业和信息化部(电子)

起草人

王奕、褚连青、何秀坤、段曙光

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所

标准范围

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中痕量氟离子(F<上标->)、氯离子(Cl<上标->)、亚硝酸根离子(NO<上标-><下标2>)、溴离子(Br<上标->)、硝酸根离子(NO<上标-><下标3>)、磷酸根离子(PO<上标3><下标4><上标->)、硫酸根离子(SO<上标2><下标4><上标->)的离子色谱测试方法。本部分适用于电子级水中痕量氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的测定,其中检出限依次为 0.7 μg/L、0.8μg/ L、1 μg/L、1 μg/L

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