GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

国家标准
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标准编号:GB/T 11446.6-2013

标准名称:电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

英文名称:Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer

发布日期:2013-12-31

实施日期:2014-08-15

归口单位:工业和信息化部(电子)

执行单位:工业和信息化部(电子)

主管部门:工业和信息化部(电子)

起草人

王奕、褚连青、何秀坤、段曙光

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所

标准范围

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法。 本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定,其中检出限为1μg/L。

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