GB/T 30705-2014 微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则

标准编号：GB/T 30705-2014

标准名称：微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则

英文名称：Microbeam analysis―Electron probe microanalysis―Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy

发布日期：2014-03-27

实施日期：2014-12-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

曾毅、李香庭、吴伟

起草单位

中国科学院上海硅酸盐研究所

标准范围

本标准规定了进行电子探针分析时的入射电子束、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则，并规定了束流、束流密度、死时间、波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。 本标准适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析，对于其他实验条件，这些实验参数只能作为参考。 本标准不适用于能谱法。

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