GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液

标准编号：GB/T 30901-2014

标准名称：高纯氟化铵溶液

英文名称：High purity ammonium fluoride solution for industrial use

发布日期：2014-07-08

实施日期：2014-12-01

归口单位：全国化学标准化技术委员会

执行单位：全国化学标准化技术委员会

主管部门：中国石油和化学工业联合会

起草人

田志扬、赵晓亚、张红英、周鹏鹏、万群平、林益兴

起草单位

浙江凯恒电子材料有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、中海油天津化工研究设计院等、福建省邵武市永飞化工有限公司、巨化集团技术中心

标准范围

本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。

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