GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

标准编号：GB/T 30857-2014

标准名称：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

英文名称：Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

发布日期：2014-07-24

实施日期：2015-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

魏明德、黄朝晖、徐永亮、刘逸枫、杭寅

起草单位

协鑫光电科技控股有限公司、浙江昀丰新能源科技有限公司、中国科学院上海光机所

标准范围

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。 本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。

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