GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法

国家标准
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标准编号:GB/T 30866-2014

标准名称:碳化硅单晶片直径测试方法

英文名称:Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers

发布日期:2014-07-24

实施日期:2015-02-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

标准范围

本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。 本标准适用于碳化硅单晶片直径的量。

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