GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底

国家标准
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标准编号:GB/T 30856-2014

标准名称:LED外延芯片用砷化镓衬底

英文名称:GaAs substrates for LED epitaxial chips

发布日期:2014-07-24

实施日期:2015-04-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

赵有文、提刘旺、惠峰、赵坚强、林泉、于洪国

起草单位

中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、有研光电新材料有限公司

标准范围

本标准规定了LED外延芯片用砷化镓单晶衬底片(以下简称衬底)的要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底。

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