GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

标准编号：GB/T 31227-2014

标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

发布日期：2014-09-30

实施日期：2015-04-15

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

起草人

李慧琴、梁齐、张冰、路庆华、何丹农

起草单位

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

标准范围

本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。 其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

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