GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢

标准编号：GB/T 14602-2014

标准名称：电子工业用气体 氯化氢

英文名称：Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

发布日期：2014-12-22

实施日期：2015-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张吉瑞、孙福楠、周鹏云、杨任、杜汉盛、方华

起草单位

北京华宇同方化工科技开发有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海仪盟科技有限公司

标准范围

本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。 本标准适用于以工业化氢为原料，采用纯化制得的化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式：HC1。 相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。

标准文档截图