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GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
标准编号：GB/T 30656-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片
英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
陈小龙、郑红军、刘春俊、刘振洲、张玮、郭钰
起草单位
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
标准范围
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。