GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

标准编号：GB/T 30652-2014

标准名称：硅外延用三氯氢硅

英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

赵立奎、张莉萍、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙

起草单位

中锗科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司

标准范围

本标准规定了硅外延用三氯氢硅（SiHC13）的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单（或合同）内容。 本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。

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