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GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
标准编号：GB/T 31351-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
英文名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
陈小龙、郑红军、刘振洲、张玮、郭钰
起草单位
北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
标准范围
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。 本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。