GB/T 12963-2014 电子级多晶硅

标准编号：GB/T 12963-2014

标准名称：电子级多晶硅

英文名称：Electronic-grade polycrystalline silicon

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

詹科、杨旭、梁洪、孙燕、种娜、黎亚文、刘晓霞

起草单位

峨嵋半导体材料研究所、有研半导体材料股份有限公司、新特能源股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司

标准范围

本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。

标准文档截图