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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
标准编号：GB/T 31470-2015
标准名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
英文名称：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
李雨辰、何秀坤、李翔、刘筠、刘兵
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司、中国电子技术标准化研究院、天津中环领先材料技术有限公司
标准范围
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。