GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

标准编号：GB/T 31986-2015

标准名称：电子工业用气体 八氟丙烷

英文名称：Gas for electronic industry—Perfluoropropane

发布日期：2015-09-11

实施日期：2016-05-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

林宇巍、陈熔、廖恒易、史婉君、方路

起草单位

国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司

标准范围

本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。 分子式:C3F8。 相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。

标准文档截图