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GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
标准编号:GB/T 20726-2015
标准名称:微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
英文名称:Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
发布日期:2015-10-09
实施日期:2016-09-01
归口单位:全国微束分析标准化技术委员会
执行单位:全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光
起草单位
中国科学院地质与地球物理研究所
标准范围
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程,在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范,不在本标准范围之内。