GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

国家标准

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标准编号：GB/T 32188-2015

标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

英文名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

发布日期：2015-12-10

实施日期：2016-11-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

邱永鑫、任国强、王建峰、陈小龙、徐科、赵松彬、刘争晖、曾雄辉、王文军、郑红军

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院物理研究所、丹东新东方晶体仪器有限公司、苏州纳维科技有限公司、北京天科合达蓝光半导体有限公司

本标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。