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GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
标准编号:GB/T 19199-2015
标准名称:半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
英文名称:Test method for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy
发布日期:2015-12-10
实施日期:2016-07-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
何秀坤、李静、张雪囡
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子材料行业协会、天津市环欧半导体材料技术有限公司
标准范围
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。 本标准适用于电阻率大于10^6Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×10^15 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×10^14atoms/cm3。