GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨

标准编号：GB/T 32386-2015

标准名称：电子工业用气体 六氟化钨

英文名称：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

发布日期：2015-12-31

实施日期：2016-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

郑秋艳、江海风、林竹光、王志信、周鹏云、王占卫、方兰兰、方华、杨仁

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所、西南化工研究设计院有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、厦门钨业股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司

标准范围

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式:WF6。 分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

标准文档截图