GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

标准编号：GB/T 32652-2016

标准名称：多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

英文名称：Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon

发布日期：2016-04-25

实施日期：2016-11-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

薄雷明、程尚栩、王祥、许振午、冯亚彬、栾振祥、张存君、李建德、管琪

起草单位

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、江苏中腾石英材料科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、东海县产品质量监督检验所、中材高新江苏硅材料有限公司

标准范围

本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。

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