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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
标准编号：GB/T 32814-2016
标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟
起草单位
西北工业大学、中机生产力促进中心
标准范围
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。