GB/T 32998-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求

标准编号：GB/T 32998-2016

标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求

英文名称：Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy—Reporting of methods used for charge control and charge correction

发布日期：2016-10-13

实施日期：2017-09-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张增明、丁泽军、达博、张鹏、毛世峰、曾荣光、阮瞩、唐涛

起草单位

中国科学技术大学物理学院

标准范围

本标准规定了在电子激发绝缘样品的俄歇电子能谱测量中，描述荷电控制方法所需的最少信息，该信息也一并报告在分析结果中。参见附录A提供的现有的AES分析前或分析期间荷电控制的有用方法。表A.1对各种方法和途径进行了总结，并依方法的简单性排列。表A.1中的一些方法对大多数仪器是可用的，一部分则需要特殊的硬件，还有部分可能涉及样品的重装或变动。

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