GB/T 32996-2016 表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

国家标准

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标准编号：GB/T 32996-2016

标准名称：表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

英文名称：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry

发布日期：2016-10-13

实施日期：2017-09-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

徐建、郝萍、吴立敏、陈永康、张云艳、刘芬、朱丽娜、周莹

上海市计量测试技术研究院、中国科学院化学研究所、华东师范大学

本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。本方法适用于测定金属上厚度为1nm~10000nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。