GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法

国家标准

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标准编号：GB/T 33763-2017

标准名称：蓝宝石单晶位错密度测量方法

英文名称：Test method for dislocation density of sapphire single crystal

发布日期：2017-05-31

实施日期：2017-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

薛抗美、黄修康、田野、张永波、杭寅、尹继刚、张毅

江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、深圳市中安测标准技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所

本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。

本标准适用于抛光加工后位错密度为0个／cm²~100000个／cm²的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为｛0001)、{1120)、{1012)、{1010｝面。