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GB/T 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法
标准编号：GB/T 33838-2017
标准名称：微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法
英文名称：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Methods of evaluating image sharpness
发布日期：2017-05-31
实施日期：2018-04-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
丁泽军、阮瞩
起草单位
中国科学技术大学物理学院
标准范围
本标准规定了用于评估扫描电子显微镜（SEM）生成的数字图像锐度的3种方法：傅立叶变换（FT)法、衬度一梯度（CG）法、导数（DR）法。