GB/T 34085-2017 电子工业用气体三氟甲烷

国家标准

27浏览

标准编号：GB/T 34085-2017

标准名称：电子工业用气体三氟甲烷

英文名称：Gas for electronic industry—Trifluoromethane

发布日期：2017-07-31

实施日期：2017-11-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

陈熔、林宇巍、叶红艳、牛艳东、曲庆、方华、周朋云、傅铸红、杜汉盛、史婉君、孙福楠、王鸿、崔学文

国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、浙江巨化股份有限公司、浙江省化工研究院、大连大特气体有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、高麦仪器公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

分子式：CHF₃

相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。