GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

标准编号：GB/T 34091-2017

标准名称：电子工业用气体 六氟乙烷

英文名称：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

发布日期：2017-07-31

实施日期：2017-11-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

史婉君、廖恒易、方正、潘义、王鸿、陈熔、李健、周鹏云、杜汉盛、白占旗、牛艳东、方华、林宇巍、邓建平

起草单位

浙江省化工研究院有限公司、四川中测标物科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、高麦仪器公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、中昊光明化工研究设计院有限公司

标准范围

本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。

分子式：C₂F_6。

相对分子质量：138.0124（按2013年国际相对原子质量）。

标准文档截图