GB/T 34213-2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝

国家标准
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标准编号:GB/T 34213-2017

标准名称:蓝宝石衬底用高纯氧化铝

英文名称:High purity alumina for sapphire substrate

发布日期:2017-09-07

实施日期:2018-06-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

钱幼平、熊洲、黄修康、侯龙超、唐大林、薛抗美、张强

起草单位

四川鑫通新材料有限责任公司、四川鑫炬新兴新光源材料有限公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司

标准范围

本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。

本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧化铝可参照本标准执行。

高纯氧化铝的分子式为Al2O3,相对分子质量为101.96,晶型为α。

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