GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法

国家标准
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标准编号:GB/T 34612-2017

标准名称:蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法

英文名称:Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals

发布日期:2017-10-14

实施日期:2018-05-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

杭寅、徐民、赵兴俭、郭宏鹤、潘世烈、张方方、赵松彬

起草单位

中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院新疆理化技术研究所、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司、上海大恒光学精密机械有限公司、新疆紫晶光电技术有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司

标准范围

本标准规定了蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法。

本标准适用于蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量。

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